መትከል ፕላዝማ ኤቸር

Inductively Coupled Plasma Etch (ICPE) ውጽኢት ውህደት ኬሚካላውን ፊዚካውን መስርሕ እዩ። መሰረታዊ መትከሉ ድማ፡ ኣብ ትሕቲ ባዶነትን ትሑት ጸቕጥን፡ ብICP RF ሓይሊ መብራህቲ ዝፍጠር ሬድዮ ፍሪኩዌንሲ ናብ ቶሮይዳል ኮፕሊንግ ኮይል ይወጽእ እዩ። ዝተሓዋወሰ ምቕራጽ ጋዝ ብዝተወሰነ መጠን ምስ ድምቀት ዝፈስስ ምፍሳስ ተተሓሒዙ ልዑል-ጽፍሒ ዘለዎ ፕላዝማ ይፈጥር። እዚ ፕላዝማ እዚ ብጽልዋ ናይቲ ኣብ ታሕተዋይ ኤሌክትሮድ ዘሎ RF ነቲ ገጽ ትሕተ-ቅርጺ ብምድብዳብ ነቲ ኣብቲ ቅርጺ ዘለዎ ከባቢ ናይቲ ትሕተ-ቅርጺ ዝርከብ ሴሚኮንዳክተር ንብረት ኬሚካላዊ ምትእስሳር ይሰብር። እዞም ተበላሽዮም ዘለዉ ንጥረ ነገራት ምስቲ ናይ ምቕራጽ ጋዝ ርክብ ብምግባር ተበላሽዮም ዝነብሩ ውህደታት ይፈጥሩ፣ ድሕሪኡ ድማ ካብቲ ትሕተ-ቅርጺ ከም ጋዝ ተፈላልዮም ካብቲ መስመር ባዶ ቦታ ይወጹ።